日本KOFLOC質量流量控制器-內拋光，它實現了無焊接結構（VCR規格），金屬密封的基本性能，以及半導體工藝氣體控制所需的±1％精度。板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

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